[文章導(dǎo)讀] 近年來(lái),隨著工業(yè)的現(xiàn)代化、規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化,以及高新技術(shù)和國(guó)防技術(shù)的發(fā)展,對(duì)各種材料表面性能的要求越來(lái)越高。

近年來(lái),隨著工業(yè)的現(xiàn)代化、規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化,以及高新技術(shù)和國(guó)防技術(shù)的發(fā)展,對(duì)各種材料表面性能的要求越來(lái)越高。

      20世紀(jì)80年代,現(xiàn)代表面技術(shù)被國(guó)際科技界譽(yù)為最具發(fā)展前途的十大技術(shù)之一的納米壓痕。納米壓痕對(duì)薄膜、涂層和表面處理材料的極薄表層的物理、化學(xué)、力學(xué)性能和材料內(nèi)部的性能常有很大差異,這些差異在摩擦磨損、物理、化學(xué)、機(jī)械行為中起著主導(dǎo)作用,如計(jì)算機(jī)磁盤、光盤等,要求表層不但有優(yōu)良的電、磁、光性能,而且要求有良好的潤(rùn)滑性、摩擦小、耐磨損、抗化學(xué)腐蝕、組織穩(wěn)定和優(yōu)良的納米壓痕及微納力學(xué)性能。因此,世界各國(guó)都非常重視材料的納米壓痕的納米級(jí)表層的物理、化學(xué)、機(jī)械性能及其檢測(cè)方法的研究。

      同時(shí)隨著材料設(shè)計(jì)的微量化、微電子行業(yè)集成電路結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化,傳統(tǒng)材料力學(xué)性能測(cè)試方法已難以滿足微米級(jí)及更小尺度樣品的測(cè)試精度,不能夠準(zhǔn)確評(píng)估薄膜材料的強(qiáng)度指標(biāo)和壽命 另外在材料微結(jié)構(gòu)研究領(lǐng)域中, 材料研究尺度逐漸縮小,材料的變形機(jī)制表現(xiàn)出與傳統(tǒng)塊狀材料相反的規(guī)律 ,以上趨勢(shì)要求測(cè)試儀器具有高的位置分辨率、位移分辨率和載荷分辨率 ,納米壓痕方法能夠滿足上述測(cè)試需求。