[文章導讀] 目前納米壓痕技術在微機電系統領域的應用不僅可以利用原子力顯微鏡(AFM)和納米硬度計直接測量微小構件的彈性模量和硬度,還可以測量固支梁或懸臂梁在載荷下的彎曲變形,如微桿件、微泵和微開關的膜片等。
1975年，美國物理學家、諾貝爾物理學獎金獲得者費恩曼在其著名的演講報告“There’s Plenty of Room at the Bottom”中首次提出了微機械的概念。隨著微電子技術和微系統的發展，許多微小結構得到了實際應用。同時，材料在微小尺度下的力學性能也逐漸成為人們關注的對象，材料的微觀力學性能研究也隨之開展起來。在微電子技術、微機械和納米摩檫學應用中，微構件的幾何尺寸一般在微米級，而薄膜的厚度則往往是納米級。在載荷的作用下，這些微小構件常常會表現出與宏觀條件下所不同的特性，因而引起了人們的極大關注，目前這一領域已成為科學前沿和研究熱點，納米壓痕技術由于具有無損、納米壓痕（點擊了解詳情）可以在很小的局部范圍測試材料的力學性能等優點，納米壓痕近十年來在材料的微觀力學性能研究方面得到了廣泛的應用。
（納米壓痕儀）
目前微構件的幾何尺寸大多以微米計,一些構件上的涂層或薄膜的厚度甚至以納米計。這些微構件的力學性能,如彈性模量和微硬度,用以往常規的硬度測試手段是無法實現的。此外,體材料的力學行為對微納米尺度上的構件已不再適用,即存在通常所說的尺度效應。目前納米壓痕技術在微機電系統領域的應用不僅可以利用原子力顯微鏡(AFM)和納米硬度計直接測量微小構件的彈性模量和硬度,納米壓痕還可以測量固支梁或懸臂梁在載荷下的彎曲變形,如微桿件、微泵和微開關的膜片等。
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