科研用小型真空等離子設備
-
-
科研用真空等離子設備，又稱之為等離子表面處理/清洗設備。
歐倍爾是德國Plasmatechnology GmbH 中國獨有代理商，實驗室系列真空等離子處理系統具備內部預編程處理，可選擇不同氣體，使用非常靈活。
-
適用于實驗室科研、小批量生產，是小部件納米清洗、表面活化、表面改性的理想選擇。
-
PCB 制造、半導體/LED制造、TSP/OLED 設備、真空等離子噴涂系統。
-
MiniFlecto®
PlasmaFlecto® 10，PlasmaFlecto® 10
Smart Plasma®
SmartPlasma 10，SmartPlasma 30
產品選型
| 型號 | 控制系統 | 腔體容積 | 尺寸 | 過程控制 | 工藝編程 | 可存儲工藝 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| MiniFlecto® | Windows | 2.4L |
外部尺寸：500×400×250mm 腔體尺寸：200×110×110mm |
√ | 有 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PlasmaFlecto10 | 11.5L |
外部尺寸：570×500×300mm 腔體尺寸：320×190×190mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| PlasmaFlecto30 | 32L |
外部尺寸：680×620×430mm 腔體尺寸：380×290×290mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma | PLC | 2.4L |
外部尺寸：500×400×250mm 腔體尺寸：200×110×110mm |
√ | 無 | 100 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma10 | 11.5L |
外部尺寸：570×500×300mm 腔體尺寸：320×190×190mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| SmartPlasma30 | 32L |
外部尺寸：680×620×430mm 腔體尺寸：380×290×290mm |
√ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
產品功能特點
1、工業化生產控制系統
-
-
標準版（windows控制系統更適用于科研）
• 可自由編程，實現連續性的處理工序組合
• 多圖表實時顯示反應動態
• 可連接網絡，實現遠程操作與維護
• 可新建、儲存、刪除處理程序模塊， 通過密碼訪問
-
-
SMART版（西門子PLC控制系統更適用于常規應用及生產）
• 西門子彩色控制界面
• 精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數
• 可連接網絡，實現遠程操作與維護
-
2、配置安全可靠
• 靈活易用的鋁滑動門
• 電磁安全屏蔽保護
• 采用氣浴電極
• MFC精密控制流量
• 多路氣體通道 -
3、性能優越
• 極低真空度、快速處理
• 真空室等離子體分布均勻
• 絕佳的可重復性
• 多種型號供選擇
• 自由配置，最貼心的定制服務 -
4、靈活使用，功能廣泛
• 表面清潔 (Plasma Cleaning)
• 表面活化 (Plasma Activation)
• 表面蝕刻 (Plasma Etching)
• 表面涂層 (Plasma Coating)
• 表面鈍化 (Plasma
效果展示
歐倍爾 客戶尊享5大服務
-
性能可靠，免費測試免費檢測效果，解決
清洗、活化、等問題； -
技術支持，無需擔憂德國技術支持，
現場專業維護； -
24小時，售后服務24小時內響應，提出解決方案，
48小時內提供備用機； -
經久耐用無易損、易耗件，
讓您體驗真正的德國品質； -
個性化定制可根據用戶具體需求定制
獨一無二的等離子設備。
大氣等離子清洗機-CAT系列
大氣等離子清洗機-MEF系列
大氣等離子清洗機T-SPOT系列
工業定制型真空等離子清洗機
工業標準型真空等離子清洗機