傳感器用于檢測對材料施加的力和位移，進而傳輸到數據處理系統，形成載荷-位移曲線，被認為是納米壓痕儀的“心臟”。儀器檢測的準確度、分辨率主要來源于傳感器。Hysitron采用已獲得5項專利的三板電容傳感 ，靠靜電力施加載荷，同時通過板間電容變化測量位移，熱漂移小，具有原位施加超低載荷和極高靈敏度的位移測量能力。

Performech控制模塊內部反饋控制回路頻率高達78KHz，確保載荷 位移函數能捕捉到壓痕產生過程中轉瞬即逝的變化，如位錯、斷裂、薄膜剝落等，非常適用于應變速率快的壓痕測試，同時能降低噪音背景，實現真正可靠的微觀納米尺度測試。

TI系列使用壓頭做高精度原位掃描成像，在測試前、后分別獲取局部拓撲成像信息，進行精確定位（定位精度可達納米級）和觀察材料 變 形行為，提供“即時”更新的掃描控制和參數顯示。PI系列利用電子顯微鏡自身的成像和攝像功能，在電子顯微鏡上進行納米力學測試的同時直接實時觀察檢測過程 。

硬度、彈性模量、接觸深度；摩擦系數、耐劃傷性、薄膜附著力、 分層力；3D形貌圖、粗糙度、膜厚、壓痕/劃痕殘余深度；耐磨性、磨損深度、磨損體積、納米加工。

nanoDMA III 配備了新開發的CMX控制算法，提供真實連續的力學性能（包括硬度、儲能模量、損耗模量、復合模量）與壓痕深度、 頻率和時間的函數關系。全面優化的高帶寬的傳感器和電子控制納米動態測試，提供業界領先的性能，靈敏度和寬廣的動態范圍。