[文章導讀] 等離子體表面處理就成為研究的客體（物質），那時研究等離子體的興趣主要與發展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩壓二極管）相關的

氣體放電和等離子體物理的主要研究是十九世紀和二十世紀之交開始的。在這個時期朗繆爾和他的同事對氣體的放電理論和等離子體做出了重要的貢獻，正是他給出了等離子體表面處理（點擊了解詳情）的概念、等離子體的定義，給了等離子體的名稱“plasma”，指出了實驗和理論上研究等離子體的方法，首先使用探針對等離子體參數進行了診斷。

到了本世紀的三十年代，等離子體表面處理就成為研究的客體（物質），那時研究等離子體的興趣主要與發展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩壓二極管）相關的。五十年代是等離子體表面處理物理發展取得成果最豐碩的年代，那時研究等離子體的主要興趣是與核聚變研究相關的，至今雖然還沒有研制成工業應用的熱核反應堆，但等離子體表面處理研究卻取得了長足的進步，特別是在研究等離子體表面處理的振蕩與不穩定性方面。

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