[文章導讀] 低氣壓等離子體發生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產生等離子體的電源、放電室、抽真空系統和工作氣（或反應氣）供給系統。
高頻等離子體發生器（點擊了解詳情）在工業中已有多方面的應用，特別是在等離子體化工、冶金和光學材料提純等方面。等離子體發生器還可制備超導材料，如用氫高頻等離子體還原釩－硅（或釩－鍺），鈮－鋁（或鈮－鍺）的氯化物蒸氣以制備超導材料。中國冶金、采礦企業中需處理的鈦礦石、含釩礦渣、磷礦石以及工業難熔廢料含稀有材料的礦渣很多，采用高頻等離子體發生器是頗有前途的冶煉手段，可從中煉出有用的金屬和稀有元素。
高頻等離子體發生器的功率輸出范圍為0.5～1兆瓦，效率為50%～75%，放電室中心溫度一般約高達7000～10000開。
低氣壓等離子體發生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產生等離子體的電源、放電室、抽真空系統和工作氣（或反應氣）供給系統。通常有四類：靜態放電裝置（、高壓電暈放電裝置、高頻（射頻）放電裝置和微波放電裝置。把被處理的固體表面或需要聚合膜層的基體表面置于放電環境中，由等離子體處理。由于低氣壓等離子體為冷等離子體，當氣壓為 133～13.3帕左右時，電子溫度高達10000開，而氣體溫度只有300開，既不致燒壞基體，又有足夠能量進行表面處理。 低氣壓等離子體發生器已日益廣泛應用于等離子體聚合、制備薄膜、刻蝕、清洗等表面處理工藝中。等離子體發生器成功的例子如：在半導體制作工藝中，采用氟里昂等離子體干腐蝕，用離子鍍法在金屬表面生成氮化鈦膜等。70年代以來，低氣壓等離子體發生器對非金屬固體（如玻璃、紡織品、塑料等）的表面處理及改性技術也有迅速發展。
等離子發生器的主要工作原理是將低電壓通過升壓電路升至正高壓及負高壓，利用正高壓及負高壓電離空氣（主要是氧氣）產生大量的正離子及負離子，負離子的數量大于正離子的數量（負離子的數量大約為正離子數量的1.5倍 ）。
等離子發生器同時產生的正離子與負離子在空氣中進行正負電荷中和的瞬間產生巨大的能量釋放，從而導致其周圍細菌結構的改變或能量的轉換，從而致使細菌死亡，實現其殺菌的作用。等離子發生器由于負離子的數量大于正離子的數量，因此多余的負離子仍然飄浮在空氣中，等離子發生器可以達到消煙、除塵、消除異味、改善空氣的品質，等離子發生器以促進人體健康的保健作用。
1、等離子發生器按等離子焰溫度分：
（1） 高溫等離子體等離子發生器：溫度相當于108~109K完全電離的等離子體，如太陽、受控熱核聚變等離子體。
（2）低溫等離子體等離子發生器：
熱等離子體：稠密高壓（1大氣壓以上），溫度103~105K，如電弧、高頻和燃燒等離子體。
冷等離子體： 電子溫度高（103~104K）、氣體溫度低,如稀薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質阻擋放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2、等離子發生器按等離子體所處的狀態：
（1）平衡等離子體等離子發生器：氣體壓力較高，電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應等離子體。
（2）非平衡等離子體等離子發生器：低氣壓下或常壓下，電子溫度遠遠大于氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應輝光放電，大氣壓下DBD介質阻擋放電等產生的冷等離子體。
低溫等離子發生器的發生技術
·直流輝光放電等離子發生器
·低頻放電等離子發生器
